Название: Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем
Автор: Мокеев О.К., Романов А.С.
Издательство: М.: Высшая школа
Год: 1979
Формат: DjVu/PDF
Страниц: 272
Размер: 65.7 MB
Язык: Русский
В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование.
Автор: Мокеев О.К., Романов А.С.
Издательство: М.: Высшая школа
Год: 1979
Формат: DjVu/PDF
Страниц: 272
Размер: 65.7 MB
Язык: Русский
В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование.
Скачать Мокеев О.К., Романов А.С. - Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [1979, DjVu/PDF]
Все материалы, представленные на нашем сайте, Вы сможете скачать по ссылкам различных бесплатных файлообменников совершенно бесплатно!
Инструкции, поясняющие, как надо качать бесплатно с файлообменников смотреть тут
Регистрация на нашем сайте позволит Вам добавлять свои книги, а также комментировать опубликованные книги, общаться с нашими авторами.
Для этого мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.